江苏天瑞仪器生产的X射线无损测厚仪thick800a采用新型的电制冷半导体探测器,进口大功率X光管和高压电源,该方法对于电镀层的检测高,测试稳定,采用X射线激发元素,对样品无损,高度激光对焦系统,对于精细产品电镀件具有良好的测试效果。
一、仪器概述
Thick800A是一款应用广泛的能量色散型X射线荧光光谱仪,使用大铍窗超薄窗口高分辨率的SDD探测器,其探测器分辨率为139eV,处于国际先进水平;产品采用上照式设计,多重防辐射保护装置以及X射线发生器,使辐射剂量符合国际规定;样品观察系统采用CCD摄像头、数字多道分析器、激光定位以及自主研发的专用测厚分析软件,各项指标均符合相关技术要求,技术达国际先进水平。
二、优点简述
该款仪器专为电子半导体、五金电镀、印刷线路板、首饰手表、检测机构等行业量身打造的仪器。XYZ三个可调节方向、全方位的样品观察系统和激光定位使得检测更方便。超大的测试内部空间,良好的散热效果和抗电磁干扰能力,模块化的结构设计使安装、调试、维护更方便,可适应恶劣工作环境。
三、应用行业
1、 电子半导体行业接插件和触点的厚度测量
2、 印刷线路板行业功能镀层厚度测量
3、 贵金属首饰手表行业镀层厚度测量
4、 五金电镀行业各种防腐性、装饰性及功能镀层厚度测量
四、技术参数
1 型号 Thick800A
2 外型尺寸 576(W)×495(D)×545(H) mm
3 样品室尺寸 500(W)×350(D)×140(H) mm
4 样品台尺寸 230(W)×210(D)mm
5 Z轴升降平台升降范围 0~140mm
6 平台移动测量范围 50mm(W)×500mm(D)×135mm(H)
7 *分析方法 FP与EC法兼容能量色散X荧光分析方法
8 测量元素范围 原子序数为16S~92U之间的元素均可测量
9 *同时检测元素 可同时分析多24个元素,五层镀层
10 *检出限 金属镀层分析薄可达0.005μm
11 厚度范围 分析镀层厚度一般在50μm以内(每种材料有所不同)
12 稳定性 多次测量重复性可达1%
13 检测时间 30-60秒
14 *探测器及分辨率 25mm2Be窗口SDD探测器,分辨率140±5eV
15 激发源 50KV/1000uA-W靶X光管及高压电源
16 *多道分析器 DMCA数字多道分析技术,分析道数4096道
17 准直器和滤光片 固定Ф0.2mm准直器,可选配其他孔径,Al滤光片
18 定位 平台电机重复定位小于0.1um
19 样品观察 配备CCD多彩摄像头,图像放大可达40倍,实现微小样品清晰定位。
20 平台稳定性 Z轴测试平台采用恒力弹簧平衡重力,实现平台的恒力升降,有效降低Z轴电机负荷,并有效保证了Z轴的垂直度。
21 安全性 双重安全保护设施:防撞激光检测器与样品室门开闭传感器;待机无辐射,工作时辐射水平远低于国际安全标准,且具有软件连动装置。
22 操作环境温湿度 15℃~30℃,≤70%
23 仪器重量 90kg
24 工作电源 交流220V±5V, 建议配置交流净化稳压电源
五、软件优势
采用公司的能量色散X荧光FpThick软件,先进的FP法和EC法等多种方法嵌入的人性化应用软件,具有高灵敏度、测试时间短、一键智能化操作。谱图区域采用动态模式,测试时元素观察更直观。
具有多种测试模式设置和无限数目模式自由添加,内置强度校正方法,可校正几何状态不同和结构密度不均匀的样品造成的偏差。