x光镀层测厚仪品牌
x光镀层测厚仪品牌技术参数
1 型号 Thick800A
2 外型尺寸
576(W)×495(D)×545(H) mm
3 样品室尺寸
500(W)×350(D)×140(H) mm
4 样品台尺寸
230(W)×210(D)mm
5 Z轴升降平台升降范围
0~140mm
6 平台移动测量范围
50mm(W)×500mm(D)×135mm(H)
7 *分析方法 FP与EC法兼容能量色散X荧光分析方法
8 测量元素范围 原子序数为16S~92U之间的元素均可测量
9 *同时检测元素 可同时分析多24个元素,五层镀层
10 *检出限
金属镀层分析薄可达0.005μm
11 厚度范围
分析镀层厚度一般在50μm以内(每种材料有所不同)
12 稳定性
多次测量重复性可达1%
13 检测时间 30-60秒
14 *探测器及分辨率 25mm2Be窗口SDD探测器,分辨率140±5eV
15 激发源 50KV/1000uA-W靶X光管及高压电源
16 *多道分析器
DMCA数字多道分析技术,分析道数4096道
17 准直器和滤光片 固定Ф0.2mm准直器,可选配其他孔径,Al滤光片
18 定位
平台电机重复定位小于0.1um
19 样品观察
配备CCD多彩摄像头,图像放大可达40倍,实现微小样品清晰定位。
20 平台稳定性
Z轴测试平台采用恒力弹簧平衡重力,实现平台的恒力升降,有效降低Z轴电机负荷,并有效保证了Z轴的垂直度。
21 安全性 双重安全保护设施:防撞激光检测器与样品室门开闭传感器;待机无辐射,工作时辐射水平远低于国际安全标准,且具有软件连动装置。
22 操作环境温湿度 15℃~30℃,≤70%
23 仪器重量 90kg
24 工作电源
交流220V±5V, 建议配置交流净化稳压电源
五、软件优势
采用公司的能量色散X荧光FpThick软件,先进的FP法和EC法等多种方法嵌入的人性化应用软件,具有高灵敏度、测试时间短、一键智能化操作。谱图区域采用动态模式,测试时元素观察更直观。
具有多种测试模式设置和无限数目模式自由添加,内置强度校正方法,可校正几何状态不同和结构密度不均匀的样品造成的偏差。